某半导体芯片创造的企业因晶圆清晰制作工序行成含氨污废水 ,发电量200吨/天。污废水 中除氟化物外还包含的氟化物和轻微巨资属,治理 麻烦大。位置产生规范标准想要氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废气基本成分及来原
晶圆除垢污水(最主要来源于):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀多种工序废水处理:含少量铜、镍等天价属,pH值浮动大
CMP磨研废水处理工艺:含硅科粒及化学需氧量
清理工艺技术环节
用于"化学式积淀+膜隔离+折点氯化"组合名字工艺设计:
预外理
:添加CaCl2除氟,掌握pH在7.5-8.
反渗透装置机系统
:取除0.01μm及以上顆粒物
反覆盖原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数浓缩咖啡至1000mg/L这
折点氯化
:精确度高保持氯加药量,将化学需氧量转成为N2
化合物传递
:得到保障高价属达到标准
结果是效用
氟化物保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属分子量如果低于查测限
水使用率达75%
工业废水呈现量削减40%