某半导除理芯片生产厂在晶圆激光加工工作中，安全使用硅烷做出硅本质萌发，废气排放清洗塔行成高浓硫酸浓度含硅废液。废液有pH上下波动大（2-11）、硅份量高的基本特征，传统文化除理做法易突然出现硅垢赌塞问題。 化工废水材料及来历 废水处理工艺注意有效成分为： 溶水性硅酸盐 ：SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢脱色钠 ：干洗塔强酸强碱干洗液残余物 颗粒剂硅 ：微米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：材质悬浮物进入 处理技艺步奏 科学创新进行"二级采和+膜滤水+多效蒸发结晶体"工艺流程： 三级采和 ：用CaO调pH至4-5，形成硅酸钙沉淀出的，硅清除率60%。 五级采和 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进第一步析出已用硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜设计 ：0.02μm淘瓷膜过滤系统納米级硅科粒，通量平稳在80LMH。 MVR汽化器 ：沉淀高盐焦化废水，晶体出Na₂SO₄副商品，水工业废水处理率超90%。 不可能成效 总硅从1500mg/L减少为5mg/L一下 砷占比从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统软件无积灰程序运行大于2年 去年回收分类处理磷酸钠纳米线约800吨