该厂为8英尺晶圆工作线服务设施的超净水模式,每次所产生含硅生产废水150吨。生产废水内虽无天价属,但硅含量的高易积垢,且功率电阻率需提高18MΩ·cm能力造纸废水清理。固有清工院艺没办法满意新修订的《电商产业水废弃物物排出标准》(GB39731-2020)特殊排出最大限度。
废气含量特殊性
主要是弄脏物
:固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒级0.1-1μm)
特俗符合要求
:TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L
饮用水因素
:低导电率(<50μS/cm)但硅有机物结构更复杂
正确处理工艺设计标准流程
企业创新利用"梯级膜分割+电去亚铁离子"组合成加工制作工艺 :
微滤预操作
:1μm卫浴陶瓷膜屏蔽短信大粒状硅,通量恢复80LMH
阳离子交流树脂材料
:D201大孔树酯采用性物理吸附硅酸原子核
二级考试RO系统的
:一、段收购 率60%,第2段主要采用高脱硼膜组件
EDI电去亚铁离子
:电流值容重2A/m²,继续删去残留物阳离子
红外光谱消菌
:254nm太阳光的紫外光线的用药量40mJ/cm²
枝术特色
的开发专业化阻硅剂(可挥发胺类挽回物),减轻膜环境污染阶段3倍
EDI方案全新流道开发,硅清掉率改善至99.8%
再线硅了解仪(自动测量条件0.1-500μg/L)达到脱贫操作
启用作用
经第一方加测:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼分量从8μg/L调至0.3μg/L
设备收旧率从原40%提高至68%
膜进行更换寿命延缓至5年,年操作成本投入缩减35%