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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆工作线服务设施的超净水模式,每次所产生含硅生产废水150吨。生产废水内虽无天价属,但硅含量的高易积垢,且功率电阻率需提高18MΩ·cm能力造纸废水清理。固有清工院艺没办法满意新修订的《电商产业水废弃物物排出标准》(GB39731-2020)特殊排出最大限度。 废气含量特殊性 主要是弄脏物 :固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(粒级0.1-1μm) 特俗符合要求 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 饮用水因素 :低导电率(<50μS/cm)但硅有机物结构更复杂 正确处理工艺设计标准流程 企业创新利用"梯级膜分割+电去亚铁离子"组合成加工制作工艺 : 微滤预操作 :1μm卫浴陶瓷膜屏蔽短信大粒状硅,通量恢复80LMH 阳离子交流树脂材料 :D201大孔树酯采用性物理吸附硅酸原子核 二级考试RO系统的 :一、段收购 率60%,第2段主要采用高脱硼膜组件 EDI电去亚铁离子 :电流值容重2A/m²,继续删去残留物阳离子 红外光谱消菌 :254nm太阳光的紫外光线的用药量40mJ/cm² 枝术特色 的开发专业化阻硅剂(可挥发胺类挽回物),减轻膜环境污染阶段3倍 EDI方案全新流道开发,硅清掉率改善至99.8% 再线硅了解仪(自动测量条件0.1-500μg/L)达到脱贫操作 启用作用 经第一方加测: 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼分量从8μg/L调至0.3μg/L 设备收旧率从原40%提高至68% 膜进行更换寿命延缓至5年,年操作成本投入缩减35%

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