半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
项目流程背景图
该机构为全球最大最前沿的半导体技术首测机构,地属珠角形区县,大部分施行高工作芯片的片区和封口自测。随着各地坏保追求严谨,机构绝对施行废水工作方法无废气排放物水利工程。工作于2030年起动,202几年6月建起投入使用,工作市场规模为200吨/日,总投资的约2000百万元。
废水处理方法物质及种类
本次目的性小学划片生产废水体现了这优势:
高酸度氟化物,主要源自晶圆切开后的难以清理道工序,氟正离子酸度可以达到150-200mg/L
具有刺激性微米级硅粉顆粒,粒度分布多在100-500nm直接
生产变压器容量较高,COD在500-800mg/L
含带轻微高价属如铅、镉等
水的电导率高,一般而言在2000-3000μS/cm
进行处理制作工艺具体流程
为实行零进行排放计划,工艺来设计来设计比较偏重采取废水处理类别采集而来和资原环保再生废物回收:
废水处理定义回收利用体系
:将含氟生产废水处理工艺与某个生产废水处理工艺分离开来整理
检查是否乳浊液除氟
:运用有级钙盐凝固法,结合高效能凝固池
最高级氧化反应进行处理
:臭氧杀菌催化燃烧的氧化的降解塑料难治疗设计物
膜精提系统化
:使用DTRO碟管式反构建,浸提公因数为10倍
蒸发掉成果
:MVR机戒再压缩空气再再压缩多效冷却器工作浓水
非常干燥软件
:将凝结盐干燥处理后为化工业副设备外售
治疗实际效果
软件作业数据报告显示信息:
氟化物清理率>99.9%,出液氟铁离子<1mg/L
COD总快速清理率>98%,水流COD<20mg/L
水教育资源回收分类处理率>95%,仅形成大量成果盐
第年回收塑料处理高产品质量造纸废水处理水约6万吨
晶体盐含量到达实业级要求,完成资源量化通过
项目流程既体现了废渣零排污,还确认信息回笼创设了约80万余元/年的减半收益率。