半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
产品背景图
该制造业的企业地处安徽省省广州市,常见长期从事高档半导体材料IC芯片的装封测试软件,日尾气废气排放细则废储水量约200吨。基于生产的工作中应用多种不同化工药物制剂,废水处理的成分缜密,含带高盐浓度铜、镍等天价属各类固化剂不饱和树脂、光刻胶等可挥发环境破坏物。制造业的企业原来的处理设备无非考虑较新的尾气废气排放细则细则,紧缺加剧工程建筑。
废液材料及源头
化学镍废水处理
:特征于存储芯片引脚塑胶电镀生产工艺,所含铜、镍、锡等巨资属阳离子,pH值变化大。
可挥发废气
:主要是来自于封装类型胶应用、光刻工序,含带固化剂光敏树脂、异丙醇、甲苯等有机会石油醚。
耐酸碱生活污水
:发生于晶圆擦洗和蚀刻工步,含带氢硫化钠、氢硫化钠、氢硫化钠等。
工作制作工艺工艺步骤
预处里关键时期
耐酸碱采和
:确认加量设计调高pH至6-9,避开之后加工处理设施设备锈蚀。
混凝土水解
:加药PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),快速清理自动隐藏物和一部分天价属。
重点工作第一阶段
最高级腐蚀
:利用Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)溶解难生物降解有机的物,COD去掉率达70%上文。
膜过滤器
:反渗入装置(UF)+反渗入(RO)乐队组合工序,进两步挪用高价属和溶水性生物碳物。
宽度整理关键时期
阴阳离子交換
:特地真对铜、镍阴阳离子,狠抓有水出巨资属含碳量超过0.5mg/L。
灵活性炭纤维吸附剂
:身为结果是保护,快速清理存留微量分析设计物。
最中感觉
经补救后,冒水地表水起到《电子器材化工业水严重工业废气排污准则》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,造纸废水处理率升降至60%,今年降低用自来水代价约80万块人民币。