建设项目题材
某超大型半导体器件制造技术工厂地属长江三角洲形省市,具体生產晶圆和加工处理芯片。在生產时候中,晶圆切割机和镜面抛光过程产生大批粉磨液废污水,日访问量的排股票放量约50吨。因此废污水底有高酸度悬停物、铝合金化合物及有机的增添剂,就直接的摆放会对情况会造成难治弄脏,工厂现需基本建设的专业加工处理建筑设施。
电镀废水部分及来历
增加光泽液焦化废水常见的出自晶圆精加工中的化学工业自动化设备增加光泽(CMP)多种工序,常见的污染破坏物包涵:
浮悬颗粒剂物
:二钝化物硅、钝化物铝等磨细小粒,比表面积在0.1-1μm,酸度可高达2000mg/L。
废金属亚铁离子
:铜、铁、锌等,产于抛光剂垫摩擦及晶圆单单从表面合金材料层,铜亚铁离子密度约50mg/L。
设计放入剂
:涉及到外层活性酶剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸强碱性元素
:pH值起伏大,一般性在2-11左右。
治疗制作流程制作流程
对应废渣形态,用于“预外理+生化模式+高度外理”搭配组合加工过程:
调结池
:平衡水硬度需水量,放入腐蚀性可以调节pH至比较适中。
水泥混凝土沉积
:添加PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),弄掉自动隐藏物和胶体溶液,沉降后SS弄掉率>90%。
催化防氧化防氧化
:通过Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)溶解有机质含有剂,COD避开率达60%。
生物体治理
:MBR膜怪物现象器进步挥发超过巧妙物,COD降低100mg/L下述。
阳离子对调
:用环氧树脂吸铜阴阳离子,出水出水铜含氧量<0.5mg/L。
砂滤+可溶性炭活性炭过滤
:保持冒水清亮,超过《污水管道綜合的排放标》(GB8978-1996)特级标。
既定郊果
装置行驶稳定性后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,残余未环保达标口,年变少工业废水废气口1.20万吨。
解决利润约15元/吨,远不低于相关行业差不多。